工作条件：

1.工作环境温度：5-35℃；

2.工作湿度：≤70%；

3.电源：220V/50/60Hz。

主要应用：表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、去除表面有机物、疏水实验、镀膜前处理等。

技术参数：




1）采用美国霍尼韦尔真空压力传感器；




2）采用美国DWYER公司气体浮子流量计，流量显示准确；




3）双路气体控制方式，气体控制更稳定；




4）弧形电极板设计，激发更完全；




5）舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质；




6）采用电容式等离子激发，内置激发电极板；




7）手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换；




8）触摸按键+4.3寸大屏幕彩色液晶显示屏设计；




9）智能程序化控制，可编程自动完成整个实验过程；




10）无需任何耗材，无需特殊进行维护；




11）舱体尺寸:300x150（直径）mm；




12）舱体容积: 2.6L；




13）射频频率: 13.56MH；




14）射频功率:10-150W无极可调；




15）电源:220V 50/60hz；




16）电流:1.2A；




17）时间设定:0-99分59秒；




18）气体稳定时间: 1分钟；




19）真空度:100pa以内；




20）等离子激发方式:电容式；




21）外形尺寸:460X580X220mm(L*W*H)




22）整机重量:15Kg；




23）双级旋片式真空泵:




24）一体式缸体，大油窗，防返油设计。




25）抽气速率：7.2m³/h/小时；




26）极限压力2X10ˉ¹Pa，电机功率370W，加油量330ml。




27）进排气口连接口：KF16/25法兰。




系统配置：

1）主机           1台    

2）真空泵         1台

3）真空软管       1根

4）舱内托盘       1块

5）电源线         2根

6）保险管         2个

7）说明书         1本

8）合格证         1份

9）保修单         1份